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什么是等离子蚀刻设备射频?

2020-05-09 master 1395

等离子蚀刻设备射频:
射频(RF)是Radio Frequency的缩写,频率范围从300KHz~30GHz之间。

射频电流,它是一种高频交流变化电磁波的简称。

每秒变化小于1000次的交流电称为低频电流,大于10000次的称为高频电流,而射频就是这样一种高频电流。


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