等离子蚀刻设备机常用气体有几路?_珠海恒格微电子装备有限公司 等离子蚀刻设备机常用气体有几路?_珠海恒格微电子装备有限公司

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等离子蚀刻设备机常用气体有几路?

2020-05-09 master 1323

等离子蚀刻设备机常用气体一般四路:氮气、氧气、CF4、氩气;  备用两路:氢气、氦气


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