等离子蚀刻机废气是否有毒?_珠海恒格微电子装备有限公司 等离子蚀刻机废气是否有毒?_珠海恒格微电子装备有限公司

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等离子蚀刻机废气是否有毒?

2020-05-09 master 1335

等离子蚀刻机废气真空腔体排出的废气是腐蚀性有毒气体,需要通过抽风管道排出室外;


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