等离子蚀刻设备的高厚孔径比能做多少，孔内均匀性能做多少
2020-05-29
master
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我们目前处理过等离子蚀刻设备最高的厚径比是40:1，孔内均匀性能做大于>60%, 20:1 >70%。
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我们目前处理过等离子蚀刻设备最高的厚径比是40:1，孔内均匀性能做大于>60%, 20:1 >70%。
