等离子蚀刻设备的高厚孔径比能做多少,孔内均匀性能做多少_珠海恒格电子科技有限公司 等离子蚀刻设备的高厚孔径比能做多少,孔内均匀性能做多少_珠海恒格电子科技有限公司

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等离子蚀刻设备的高厚孔径比能做多少,孔内均匀性能做多少

2020-05-29 master 235

我们目前处理过等离子蚀刻设备最高的厚径比是40:1,孔内均匀性能做大于>60%, 20:1 >70%。


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