重磅消息解读:中国等离子体蚀刻清洗设备比国外应用优势强_珠海恒格微电子装备有限公司 重磅消息解读:中国等离子体蚀刻清洗设备比国外应用优势强_珠海恒格微电子装备有限公司

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重磅消息解读:中国等离子体蚀刻清洗设备比国外应用优势强

2020-08-11 master 1376

相对于中国在等离子蚀刻机上,珠海恒格电子科技有限公司的等离子蚀刻清洗设备,不仅可以满足中国企业的需求,还能够进入国际市场上与应用材料等国际巨头一争长短.而这背后,是一群科技人才耗费十多年时间持之以恒的付出和努力换来的成绩。


十年磨一剑技术应用比国外优势


腔体采用航空铝合金,无缝焊接,真空泄漏率小于20mt/min,可以更好保证均匀性。

电极采用一体成形工艺(无缝焊接),电极升温效率高20%,咬蚀均匀。


真空泵组全方位多重保护系统(过流,过载,超温保护)。

电极和RF电源/真空泵组采用独立冷却系统,确保设备稳定性和延长设备使用寿命。

标配四路、最多五路气体配置。

氦气氧气软件防保设备,气体流量&压力报警装置系统。


德国工业电路安装设计标准

冷却水和气体流量实时监控系统(HENGER专利)

PLC-人机操作软件,简单使用,数据动作实时记录,永久存储,分级用户权限管理。

Barcode扫描系统(选配功能)

恒格等离子VS国外品牌等离子


恒格等离子其它优势

腔体内可拆卸面板:保护腔体,便于清洗,提高效率,提高咬蚀均匀性。



我们的愿景

做中国最好的“等离子体工业应用”民族品牌

立足中国   面向世界。





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